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    在线管式PECVD上下料机
    产品说明：
    在线管式PECVD上下料机是一款将硅片从硅片承载盒中自动装载至PECVD石墨舟或从PECVD石墨舟中自动装载至硅片承载盒中的设备。
    产品优势：
    1.速度：6000片/小时;
    2.极低的破损：≤0.03%;
    3.预留PL工位，可兼容面阵及线扫AOI相机;
    4.softtouch设计理念，降低硅片碎片率;
    自动装载
    低破损率
    高产能
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